时间：2020-10-26来源： 北京拓普光研

导语：LAB的纳米精度运动控制系统广泛应用于半导体行业，其主要客户包括ASML、IMEC、Samsung、ZEISS Semiconductor等。

　　精密运动控制系统被广泛应用于精密加工、精密测量、科学研究等领域。比利时LAB公司专注于为高端检测类用户、高端加工类用户、科研类客户提供整体定制化的运动控制解决方案。

　　▪激光加工比利时LAB有专门的的激光切割方案，包含控制、运动系统、以及激光器。其激光切割方案的主要特点包括：

　　1)切割行程长达2000mm*2000mm，速度2m/秒

　　2)全行程切割精度<2µm

　　3)各种形状切割包括curved,straight,perpendicular,angledlines,holes,slots,etc

　　4)切割厚度从<50µm到12mm5)自动脱离方案可选

　　6)切割后崩边chippingsize<5µm

　　7)pulse on demand

　　LAB公司近期推出了5轴联动的激光微加工全套解决方案，如下。图形化的用户操作界面，省去了繁琐的软件二次开发步骤和成本，确保用户可以轻松的实现纳米级别的激光加工。

　　▪半导体检测

　　LAB的纳米精度运动控制系统广泛应用于半导体行业，其主要客户包括ASML、IMEC、Samsung、ZEISS Semiconductor等。下图提到的气浮龙门系统为半导体用户确保核心组件的平面度(Flatness)低于100nm。

　　▪科学研究

　　科研行业是LAB公司自成立之初就紧密合作的重点行业，主要客户包括全球各大主要同步辐射光源以及大学研究所等。

　　LAB Motion Systems公司2005年成立于比利时著名的大学城鲁汶，是天主教鲁汶大学的分离公司，公司的全称是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球领先的气浮运动控制系统提供商，公司为用户提供基于气浮轴承技术的纳米精度运动控制系统，包括气浮旋转平台和多轴运动控制平台。其气浮转台的端跳和径跳可以达到<20nm的精度。

　　北京拓普光研科技发展有限公司是LAB在中国的代理商，致力于LAB产品在半导体检测、量子光学、激光微加工、精密测量、天文、CT等领域的应用推广。